| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| 處理室尺寸 | 寬：270 毫米，深：370 毫米，高：400 毫米 |
| 熱蒸發器 | 多達 4 種材料 |
| 有機蒸發器 | 多達 4 種材料 |
| 電子束蒸發 | 多槽或單槽 |
| 濺射 | 向上或向下，2 x 2" |
| 共沉積 | 蒸發和/或濺射 |
| 與真空進樣室兼容 | 可選 |
| 水調溫室 | 可選 |
| 真空度 | 中真空 10-7 mbar |
| 與潔凈室兼容 | 是 |
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| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| 處理室尺寸 | 寬：270 毫米，深：370 毫米，高：400 毫米 |
| 熱蒸發器 | 多達 4 種材料 |
| 有機蒸發器 | 多達 4 種材料 |
| 電子束蒸發 | 多槽或單槽 |
| 濺射 | 向上或向下，2 x 2" |
| 共沉積 | 蒸發和/或濺射 |
| 與真空進樣室兼容 | 可選 |
| 水調溫室 | 可選 |
| 真空度 | 中真空 10-7 mbar |
| 與潔凈室兼容 | 是 |
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